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HDZ-9220

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產品特點 1、應用于半導體晶圓ID標記，兼容6、8吋晶圓產品；
2、適用于Si/GaAs/SiC等常見的晶圓材料；
3、全自動作業，配備FFU過濾模塊；
4、配備雙臂機械手，可選配SMIF上料模塊；
5、遵循SEMI標準，支持SECS/GEM通訊協議。

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